Plateforme Couches Minces pour l’Optique X (LCF)

La plateforme « Couches Minces pour l’Optique X » (CeMOX), opérée par le groupe « Optique XUV » du laboratoire Charles Fabry (LCF), a pour vocation de fournir la communauté scientifique française, très nombreuse et active au sein de l’Université Paris-Saclay, en optique X et EUV avec des performances au meilleur niveau mondial. 

Plus d'informations sur CeMOX

Composée d’équipements de dépôts et de caractérisation de revêtements interférentiels installés dans la nouvelle salle blanche de l’Institut d’Optique Graduate School (IOGS), la plateforme CeMOX est un équipement unique en France et fait partie des 5 équipements les plus avancés au niveau mondial pour la réalisation et la caractérisation d’optiques X et EUV multicouches.


Cette plateforme expérimentale et le savoir-faire du groupe Optique XUV du LCF sont mis à profit de diverses applications :

  • transport et/ou mise en forme spatio-temporelle d’impulsions EUV ultra-brèves (ATTOLAB, OPT2X),
  • imagerie EUV pour le spatial (mission ESA Solar Orbiter),
  • diagnostics plasma (Laser MégaJoule, NIF),
  • microscopie X (Morphoscope),
  • instrumentation pour le rayonnement synchrotron (SOLEIL).

Type de structure/tutelles 

CeMOX est reconnue comme plateforme technologique de l'Université Paris-Saclay  et répertoriée comme plateforme technologique du CNRS depuis 2018.

Degré d’ouverture et utilisateurs

L’accès à CeMOX se fait soit par des collaborations scientifiques avec le LCF, soit par des demandes de prestations, soit par l’accueil de personnel extérieur. Les principaux utilisateurs de la plateforme sont les membres du groupe Optique XUV et leurs doctorants. CeMOX accueille et forme également des personnels extérieurs (doctorants ou ingénieurs).  Au total une dizaine de personnes travaillent directement au sein de la plateforme et plus de 15 laboratoires différents utilisent la plateforme. De plus, une vingtaine d’étudiants de 3ème année (M2) de l’IOGS sont accueillis chaque année pour des séances de TP.

Ouverture internationale

  • Organisation de la conférence internationale PXRNMS sur Paris-Saclay en 2018.
  • Chaire Jean d’Alembert de l’IDEX Paris-Saclay (12 mois de prof invité).
  • Collaboration avec 2 laboratoires américains (LBNL et LLNL) depuis 2016. 
  • Collaboration avec 1 laboratoire russe (IPMRAS) - projet PRC du CNRS depuis 2017.
  • Participation au consortium européen EUI (mission ESA Solar Orbiter).

Indicateurs (depuis 2016)

4 doctorants, 3 projets LabeX PALM, 2 projets Equipex, 1 Chaire Jean d’Alembert, 2 contrats CNES, 2 contrats CEA DAM, 1 brevet, 15 publications, 2 conférences invitées.